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ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵CR60B的工作原理是什么

更新時(shí)間:2025-09-11點(diǎn)擊次數(shù):140

ULVAC愛發(fā)科的多級(jí)羅茨型干泵CR60B(包括CR60B-S和CR60B-T型號(hào))以其干式運(yùn)行多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)為核心特點(diǎn),通過在泵腔內(nèi)進(jìn)行多級(jí)壓縮來實(shí)現(xiàn)真空獲取。它采用了空冷設(shè)計(jì),并且排氣室內(nèi)不使用真空油

?? 處理可凝性蒸汽(如水蒸氣):CR60B可選配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)(BALLEST機(jī)構(gòu))。該功能允許向泵的壓縮區(qū)注入少量干燥氣體(如空氣或氮?dú)猓?,旨?span style="font-weight: 600;">提高氣體混合物的非可凝成分比例,從而降低蒸汽的分壓,使其在達(dá)到飽和前被排出。但這會(huì)輕微增加極限壓力。因此,在需要處理大量水蒸氣的應(yīng)用(如真空干燥)中,強(qiáng)烈建議啟用氣鎮(zhèn)功能。

?? CR60B系列的主要技術(shù)與特點(diǎn)

  • 干式無油運(yùn)行:泵腔內(nèi)部不使用任何潤(rùn)滑油或密封液,避免了油氣污染、油氣反應(yīng),同時(shí)可以避免氣體中的水分、氧氣和雜質(zhì)對(duì)泵的腐蝕,確保了泵的高可靠性和長(zhǎng)壽命。

  • 多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu):CR60B采用了多級(jí)葉輪,這種結(jié)構(gòu)可以大大提高泵速和抽氣效率,并且使泵能夠直接從大氣壓開始抽氣,并達(dá)到較高的極限真空度(CR60B-S極限壓力≤3.0 Pa,CR60B-T極限壓力≤0.5 Pa)。

  • 空冷式設(shè)計(jì):無需額外的冷卻水氮?dú)?/span>連接,減少了配套設(shè)施的需求,有助于降低運(yùn)行成本和簡(jiǎn)化安裝。

  • DC密封電機(jī):安裝了DC密封電機(jī)實(shí)現(xiàn)節(jié)能、氣密和減重。

  • 非接觸式運(yùn)行:轉(zhuǎn)子和汽缸是以非接觸方式運(yùn)行的,這可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

?? 主要應(yīng)用領(lǐng)域
得益于其清潔、無油的特性,CR60B系列干泵非常適合以下領(lǐng)域:

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣。

  • 真空干燥等水蒸氣的排出(此應(yīng)用時(shí)需要啟用氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu))。

  • 濺射,蒸發(fā)等真空設(shè)備。

?? 總結(jié)
ULVAC愛發(fā)科CR60B多級(jí)羅茨型干泵通過多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)氣體的逐級(jí)壓縮,其干式無油空冷設(shè)計(jì)使其能提供清潔的真空環(huán)境,并有效降低運(yùn)行成本。可選配的氣鎮(zhèn)功能則增強(qiáng)了其處理可凝性蒸汽(如水蒸氣)的能力。


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