在半導(dǎo)體和電子設(shè)備制造領(lǐng)域，ULVAC愛發(fā)科隔膜型干泵以其清潔無油的獨特優(yōu)勢，成為維持高純度真空環(huán)境的關(guān)鍵技術(shù)。

在現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)中，從芯片制造到醫(yī)療器械，許多精密工藝過程都離不開可靠的真空環(huán)境。隔膜型干泵作為獲得清潔真空的關(guān)鍵設(shè)備，因其無油污染的特性，已成為半導(dǎo)體、電子器件等制造業(yè)的基礎(chǔ)裝備。

01 隔膜型干泵的工作原理：清潔排氣的精密機械

隔膜型干泵，也稱為膜片型干泵，是一種利用隔膜往復(fù)運動進行排氣的機械真空泵。其核心設(shè)計在于實現(xiàn)了無油的氣體輸送，從根源上避免了油氣對真空環(huán)境的污染。

核心驅(qū)動機制：當偏心軸（轉(zhuǎn)子）旋轉(zhuǎn)時，動力通過連桿傳遞至隔膜。這種精巧的機械設(shè)計將電機的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化為隔膜的直線往復(fù)運動。

氣體輸送過程：隨著隔膜上下反復(fù)運動，泵腔容積發(fā)生周期性變化。氣體從進氣口被吸入，然后被強制推向排氣口，實現(xiàn)定向流動。

單向流動保證：泵的每個口都裝有閥門結(jié)構(gòu)，確保氣體始終沿同一方向輸送，防止倒流，從而形成穩(wěn)定的真空環(huán)境。

與使用油類或其他工作液體的真空泵不同，隔膜型干泵在所有氣體接觸部位均未使用油類介質(zhì)，保證了排氣的清潔性，非常適用于對油蒸氣零容忍的應(yīng)用場景。

02 產(chǎn)品系列與規(guī)格：滿足多元需求的全面解決方案

ULVAC愛發(fā)科提供多種型號的隔膜型干泵，根據(jù)結(jié)構(gòu)和功能差異，主要可分為三大類：

一段式排氣泵：具有兩個并聯(lián)的泵室以增加排量。代表性型號包括DAP-12S、DA-60S、DAT-100S等。這類泵型適用于需要較高排氣速度的應(yīng)用場景。

二段式排氣泵：采用兩個串聯(lián)的泵室結(jié)構(gòu)，提高壓縮比，從而獲得更佳的極限壓力。主要型號有DAP-6D、DA-30D、DAT-50D等。二段式設(shè)計相比一段式具有更低的極限壓力，能提供更好的真空度。

耐腐蝕規(guī)格泵：專門針對腐蝕性環(huán)境設(shè)計，所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。DTC系列是其代表，如DTC-60、DTC-22K等型號，適合吸排有腐蝕性或有機溶劑氣體。

不同型號的隔膜泵在抽速、極限壓力、電機功率等參數(shù)上形成梯度，滿足從基礎(chǔ)研究到工業(yè)生產(chǎn)的各種需求。以DAP-6D為例，其抽氣速率達6L/min（50Hz），馬達功率為10W；而DTC-60的抽速可達60L/min，馬達功率為100W。

03 應(yīng)用領(lǐng)域：多行業(yè)的關(guān)鍵真空解決方案

隔膜型干泵憑借其清潔無油的特點，在多個行業(yè)發(fā)揮著關(guān)鍵作用：

半導(dǎo)體和電子器件制造業(yè)：在蝕刻設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等工藝環(huán)節(jié)的真空排氣系統(tǒng)中。隨著半導(dǎo)體制造業(yè)和電子設(shè)備工業(yè)的快速發(fā)展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

工業(yè)自動化領(lǐng)域：廣泛用于真空吸盤、薄膜吸附、自動化輸送設(shè)備，提供可靠的吸附力，實現(xiàn)物料的精準搬運與定位。

醫(yī)療與食品行業(yè)：適用于醫(yī)療器械、真空鑷子、冷凍干燥設(shè)備和真空干燥設(shè)備，滿足這些行業(yè)對衛(wèi)生和高潔凈度的嚴格要求。

通用工業(yè)領(lǐng)域：在包裝機械、印刷機械、光學(xué)機械等多種設(shè)備中提供穩(wěn)定的真空源。

特殊工藝應(yīng)用：同樣適用于真空濃縮、過濾、脫氣消泡等工藝環(huán)節(jié)，以及鋰電池制造中的電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備。

04 技術(shù)特點與優(yōu)勢：為何選擇隔膜型干泵

隔膜型干泵在眾多真空泵技術(shù)中脫穎而出，得益于其多方面的技術(shù)優(yōu)勢：

清潔無污染：不使用油或液體，消除了油蒸氣對工藝過程或最終產(chǎn)品的污染風(fēng)險，特別適合對潔凈度要求高的應(yīng)用。

維護簡便：泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計，因此維護簡單。簡單的構(gòu)造，便于維護與保養(yǎng)。

緊湊輕便：隔膜型干泵通常具有小型化特點，如DAP-6D尺寸僅為91(W) × 163(L) × 100.6(H) mm，方便集成到各種設(shè)備中。

安全可靠：產(chǎn)品內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護器等安全設(shè)計，部分型號還配備過熱保護器，確保長時間運行的穩(wěn)定性。

耐腐蝕性能：針對特殊應(yīng)用場景，耐腐蝕型號所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料，能夠處理腐蝕性氣體和有機溶劑。

能效優(yōu)異：部分型號（如DAP-6D）功率僅10W，卻在提供所需真空性能的同時保持低能耗，有助于降低運行成本。

05 發(fā)展前景與創(chuàng)新方向

隨著科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，隔膜型干泵面臨新的機遇與挑戰(zhàn)：

材料創(chuàng)新：通過開發(fā)新型耐腐蝕、耐磨損材料，進一步提高泵的使用壽命和可靠性，尤其是在處理腐蝕性介質(zhì)的應(yīng)用場景。

結(jié)構(gòu)優(yōu)化：愛發(fā)科已在模塊化集成、多驅(qū)動腔部分非 coaxial 干式真空單泵等領(lǐng)域進行布局，旨在提高泵的效率和性能。

應(yīng)用領(lǐng)域拓展：隨著半導(dǎo)體制造業(yè)和電子設(shè)備工業(yè)的快速發(fā)展，對隔膜真空泵的需求也在增加，同時在新興領(lǐng)域如鋰電池制造也在不斷拓展。

智能化集成：未來可能集成更多傳感器和智能控制單元，實現(xiàn)狀態(tài)監(jiān)測和預(yù)測性維護，提升設(shè)備智能化水平。

從智能手機的芯片到醫(yī)療設(shè)備的精密部件，ULVAC愛發(fā)科隔膜型干泵在無數(shù)高科技產(chǎn)品的制造過程中扮演著的角色。隨著科技不斷進步，對清潔真空環(huán)境的需求只會日益增長，隔膜型干泵的技術(shù)革新將繼續(xù)支撐著未來制造業(yè)的發(fā)展