智能型ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵LR系列

智能型ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵LR系列

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

“Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等